过滤式温控氦气微漏阀
专利号：03128287 发起人：中国科学院武汉物理与数学研究所 发布时间：2006-9-14 专利类型：发明专利
摘要
| 本发明公开了一种过滤式温控氦气微漏阀，该微漏阀用于向超高真空系统注入氦气，由通气通道和流速控制器组成，通气通道的微漏结构采用石英玻璃制成的氦气节流管，流速控制器包含温度传感器、恒温控制器及环绕在氦气节流管外径上的电热丝，温度在25～400℃范围内连续可调。通气通道由氦气节流管1、密封罩3、九五料玻璃管6、出气口7、进气口8、不锈钢管10、法兰13和五号玻璃管9组成；流速控制器由电热丝2、温度传感器4、加热电极12、镍片11和恒温控制器5组成。使用本发明向超高真空系统充注氦气，不但大大降低真空预抽系统的要求，可节约大量的人力和物力，还可降低对氦气纯度的要求，节约费用，操作简单。 |
| 1、过滤式温控氦气微漏阀，该微漏阀由通气通道和流速控制器组成，其特征在于，通气通道的微漏结构采用石英玻璃制成的氦气节流管(1)，流速控制器包含温度传感器(4)、恒温控制器(5)及环绕在氦气节流管(1)外径上的电热丝(2)，温度在25～400℃范围内连续可调。 |
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