晶圆反应室阀门及其O型环装置
专利号：03206015 发起人：福谦科技股份有限公司 发布时间：2006-9-18 专利类型：实用新型
摘要
| 本实用新型涉及一种用于保持晶圆反应室完全封闭的晶圆反应室阀门及其O型环装置。一种晶圆反应室阀门及其O型环装置，包括阀门本体126、镶嵌于其表面外围的O型环122，其特点在于：阀门与晶圆出口封闭处，沿门框之外缘设有一鸠尾槽10，所述鸠尾槽10的底部具有鸠尾槽底部夹角130和接合处127；鸠尾槽10内安装有底部与鸠尾槽10完全吻合，并与鸠尾槽10紧密固定的，断面形状为上窄下宽的鸠尾形的O型环122；鸠尾槽10的外侧设有一个或一个以上缺口128，缺口128的缺口底部125低于鸠尾槽底124。 |
| 1.一种晶圆反应室阀门及其O型环装置，包括阀门本体(126)、镶嵌于其表面外围的O型环(122)，其特征在于：阀门与晶圆出口封闭处，沿门框之外缘设有一鸠尾槽(10)，所述鸠尾槽 (10)的底部具有鸠尾槽底部夹角(130)和接合处(127)；鸠尾槽(10)内安装有底部与鸠尾槽(10)完全吻合，并与鸠尾槽(10)紧密固定的，断面形状为上窄下宽的鸠尾形的O型环(122)；鸠尾槽(10)的外侧设有一个或一个以上缺口(128)，缺口(128)的缺口底部(125)低于鸠尾槽底(124)。 |
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